Mục lục:
Định nghĩa - Nanolithography có nghĩa là gì?
Nanolithography là một nhánh của công nghệ nano và là tên của quá trình in, viết hoặc khắc các mẫu ở mức độ vi mô để tạo ra các cấu trúc cực kỳ nhỏ. Quá trình này thường được sử dụng để tạo ra các thiết bị điện tử nhỏ hơn và nhanh hơn như micro / nanochips và bộ xử lý. Nanolithography chủ yếu được sử dụng trong các lĩnh vực công nghệ khác nhau từ điện tử đến y sinh.Techopedia giải thích Nanolithography
Nanolithography là một thuật ngữ rộng được sử dụng để mô tả các quá trình khác nhau để tạo ra các mô hình nano trên các phương tiện khác nhau, trong đó phổ biến nhất là silicon vật liệu bán dẫn. Mục đích chính của kỹ thuật nano là thu nhỏ các thiết bị điện tử, cho phép nhiều bộ phận điện tử được nhồi nhét vào không gian nhỏ hơn, tức là các mạch tích hợp nhỏ hơn dẫn đến các thiết bị nhỏ hơn, sản xuất nhanh hơn và rẻ hơn do cần ít vật liệu hơn. Điều này cũng làm tăng hiệu suất và thời gian đáp ứng vì các electron chỉ cần di chuyển khoảng cách rất ngắn.
Một số kỹ thuật được sử dụng trong kỹ thuật nano như sau:
- Quang khắc tia X - Được thực hiện thông qua phương pháp in gần và dựa vào tia X trường gần trong nhiễu xạ Fresnel. Nó được biết là mở rộng độ phân giải quang học của nó đến 15nm.
- Tạo khuôn đôi - Một phương pháp được sử dụng để tăng độ phân giải cao độ của quy trình in thạch bản bằng cách in các mẫu bổ sung giữa các không gian của các mẫu đã được in trong cùng một lớp.
- Kỹ thuật in khắc trực tiếp bằng tia điện tử (EBDW) - Quá trình phổ biến nhất được sử dụng trong in thạch bản, sử dụng chùm tia điện tử để tạo ra các mẫu.
- Quang khắc cực tím (EUV) - Một dạng quang khắc quang học sử dụng các bước sóng ánh sáng cực ngắn 13, 5nm.
