Mục lục:
- Định nghĩa - Hệ thống cơ điện tử (MEMS) nghĩa là gì?
- Techopedia giải thích Hệ thống cơ điện tử (MEMS)
Định nghĩa - Hệ thống cơ điện tử (MEMS) nghĩa là gì?
Một hệ thống cơ điện tử (MEMS) là một mô-đun cơ học nhỏ được điều khiển bằng điện. NEMS hợp nhất các máy tính với các mô-đun cơ học như cảm biến, cơ cấu chấp hành và gương. Chúng là các hệ thống hiệu quả chi phí sử dụng công nghệ chế tạo thiết bị sửa đổi.
MEMS có nhiều cách sử dụng khác nhau và có nhiều cách tiếp cận thiết kế chế tạo, tận dụng các thành phần khác nhau, thu nhỏ và hệ thống cơ điện tích hợp tiêu chuẩn mới. MEMS có thể được sử dụng để khắc ướt như kali hydroxit (KOA), khắc khô như khắc ion phản ứng sâu (DRIE), đúc và mạ, máy phóng điện (EDM) và các công nghệ khác sản xuất các thiết bị nhỏ.
Một hệ thống cơ điện tử cũng có thể được gọi là hệ thống vi điện tử, micromachine, công nghệ microsystems hoặc vật chất thông minh.
Techopedia giải thích Hệ thống cơ điện tử (MEMS)
MEMS có thể nhỏ hơn chiều rộng của tóc người và có thể bao gồm một số thành phần như:
- Kính hiển vi
- Máy vi tính
- Bộ vi xử lý
- Các đơn vị trung tâm để xử lý dữ liệu
- Các thành phần để tương tác với các yếu tố bên ngoài
MEMS có tỷ lệ diện tích bề mặt lớn so với thể tích và được xây dựng bằng công nghệ chế tạo silicon.
Một thiết bị MEMS bao gồm vi mạch được đặt trên một con chip silicon nhỏ được sử dụng với các thành phần cơ khí. Công nghệ này hỗ trợ rất nhiều thiết bị kiểm soát, cảm nhận hoặc kích hoạt các quy trình cơ học trong khi hoạt động như một mảng hoặc riêng lẻ.
Hiện tại, MEMS bao gồm một microsenor hoặc bộ vi lọc riêng biệt duy nhất vào kiến trúc của họ, nhưng mức độ đồng hóa phức tạp hơn có thể xảy ra trong tương lai. Sự phát triển tiếp theo có thể là kết hợp nhiều tính năng riêng lẻ vào một hệ thống.
